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[IT业界] 台积电首创干式EUV光罩洁净技术,累计节省超4.7亿元

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N6150
发表于 2020-7-31 21:29:44 | 显示全部楼层 |阅读模式

集微网消息,据台媒报道,台积电导入干式极紫外光(EUV)光罩洁净技术,提升能源与资源使用效率,累计创造改善效益达新台币20亿元(约合人民币4.76亿元)。

台积电创新研发的干式EUV光罩洁净技术从2018年开始导入试产,2019年开始进一步发展干式EUV光罩洁净技术自动化,已于今年1月全面导入12英寸晶圆厂区量产。

据了解,台积电创新研发干式EUV光罩洁净技术,通过干式技术快速去除落尘,取代需要使用纯水与化学品的湿式清洁手法;同时以次纳米级分析技术精准定位落尘来源,从根本排除污染源,至2020年成功使落尘削减率超过99%,导入试产迄今累计节水量约735公吨,降低化学品使用量约36公吨。

另外,干式洁净技术导入后大幅缩短光罩保修频率与时间,使光罩使用率跃升超过80%,并延长先进制程EUV光罩寿命,累计创造的改善效益达20亿元。

(校对/零叁)

https://www.laoyaoba.com/html/ne ... &news_id=755783
mmxsee
发表于 2020-8-1 11:52:22 | 显示全部楼层
我真的服台积电
海龙王_ccmd
发表于 2020-8-1 14:47:46 | 显示全部楼层
良性循环,没法比。
只能另起炉灶,从别的方面入手,半导体是不行了。
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