除了EUV 中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机

显示全部楼层 · 发表于 2021-3-3 22:53:48

今日中芯国际披露，公司于2月1日与阿斯麦（ASML）上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品（即光刻机）与阿斯麦集团签订购买单，订单金额12亿美元。阿斯麦（ASML）即荷兰阿斯麦，是全球最大的半导体设备制造商之一，主要业务为光刻机的研发和生产，在全球处于绝对领先地位。

具体来看，ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额；

在EUV（极紫外）光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率100%。

众所周知，EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的设备。那么，中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机，包含EUV光刻机吗？

记者从业内资深人士处了解到，除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。

此前，ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示：如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义，ASML将能够从荷兰向中国客户（包括中芯国际）提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。

不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。

https://www.cnbeta.com/articles/tech/1097229.htm

显示全部楼层 · 发表于 2021-3-3 23:33:06

最尖端的还是买不到，出路还是自研，但是太困难了

显示全部楼层 · 发表于 2021-3-3 23:49:39

空羽发表于 2021-3-3 23:33
最尖端的还是买不到，出路还是自研，但是太困难了

至少SMIC的光刻机瓶颈不是现在，现在仅仅是14nm（还比TSMC的16nm差），TSMC都能用DUV光刻机生产7nm级别，SMIC还有好几年能努力的

显示全部楼层 · 发表于 2021-3-4 02:36:52

买到不等于被允许生产

显示全部楼层 · 发表于 2021-3-4 15:15:39

黑狐无风发表于 2021-3-3 23:49
至少SMIC的光刻机瓶颈不是现在，现在仅仅是14nm（还比TSMC的16nm差），TSMC都能用DUV光刻机生产7nm级别， ...

英特尔把duv光刻机都玩出花了，虽然14nm被笑话很久，但是同样14nm没有厂商比英特尔的更强了吧。而且据说英特尔duv的10nm 工艺都不输台积电7nm的euv工艺。

显示全部楼层 · 发表于 2021-3-4 15:40:35

其实我理解的光刻机曝光步骤，应该只影响晶体管密度吧，至于工艺中的各种掺杂工艺、功耗甜点、高频优化之类的，应该与光刻机本身关系不大。
Intel最好的地方其实是工艺虚标不严重

显示全部楼层 · 发表于 2021-3-4 16:04:10

高端光刻机需要自研

[ＩＴ业界] 除了EUV 中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机