成本仅 DUV 光刻 1/10：璞璘气压式纳米压印设备量产 8" 光芯片晶圆

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成本仅 DUV 光刻 1/10：璞璘气压式纳米压印设备量产 8" 光芯片晶圆

IT之家 6 月 5 日消息，据璞璘科技 (PRINANO) 消息，该企业近日与客户力策科技合作，采用真空气压式晶圆级 NIL（纳米压印）图案化设备 PL-AS，配合定制化双层压印胶材料体系与核心工艺，完全绕开 DUV 光刻路线实现 8 英寸光芯片晶圆可规模化量产，并将芯片制造成本压缩至传统 DUV 方案的 1/10。

IT之家了解到，PL-AS 机台支持＜10nm 的线宽分辨率，晶圆整面压印压力均匀性误差低于 0.5%，支持无残余层压印工艺，对准精度可定制至百纳米级。同时其支持平面或曲面衬底，兼容硬质与柔性模板。

相较传统的辊压法晶圆级 NIL，PL-AS 通过面施力保障晶圆上每一个纳米级单元受力完全一致，将 RLT 偏差控制到＜2nm，同时其吞吐量显著高于步进式的佳能 NIL 设备。

此外，璞璘 PL-AS 作为气压式设备结构较 DUV 更为简单，无需昂贵的光学系统，还可以使用寿命更长的复合模板，这是其具备显著成本优势的原因。

原文地址：https://www.ithome.com/0/960/400.htm